SNAP微腔位移传感器

±2 μm绝对位移

基于相似度匹配算法从光谱直接读出绝对位移,对噪声和低采样点鲁棒,实现了±2 μm的绝对位移传感。

蔡念

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

displacement sensing error
2 μm

技术优势

仿真验证方法对噪声干扰和低采样点高度鲁棒