SU-8波导热调谐FTS

芯片级光谱仪

用聚合物波导替代传统硅光技术，使傅里叶变换光谱仪能以更低成本实现小型化。

Shao, Qiongchan · Ma, Xiao · 李明宇 · Jian-Jun, He

Polymers 2025

参数信息

光谱带宽

~100 nm

封装面积

2 × 12 mm²

最大功耗

2.2 W

技术优势

成本更低

使用SU-8聚合物波导替代硅光波导，省去高成本CMOS工艺和昂贵衬底，大幅降低制造成本。

封装紧凑

整个FTS器件封装面积仅2 × 12 mm²，适合便携和手持设备。

功耗可控

最大加热功率2.2 W即可实现光程差调谐，无需高功耗机械扫描。

应用场景

• 片上光谱分析：在芯片上集成光源、干涉仪和探测器，实现微型化光谱分析。
• 便携式光谱仪：小尺寸和低功耗使光谱仪可随身携带，用于现场检测。
• 微型光谱仪：2 × 12 mm²的封装可直接嵌入微型设备。
• 生化传感：片上光谱仪可集成到生化传感芯片，实现即时物质识别。