双物镜微悬浮致动器

三自由度快速伺服补偿

为光存储系统提供三自由度微悬浮致动，可及时快速补偿微伺服误差。

Liu, Mingyuan · 苏萍 · Qian, Sun · 马建设

Sensors and Actuators, A: Physical 2023

参数信息

自由度

3

技术优势

设计过程有章可循

所提出的设计和评估方法能在多个复杂参数共存时有效指导微悬浮致动器的设计。

三自由度运动可实现

原型测量证实其具备三自由度动态特性，能够用于伺服补偿。

控制性能得到验证

基于滞后-超前控制器的控制系统验证了其伺服性能，可及时快速补偿微伺服误差。

应用场景

• 光存储伺服控制：补偿光存储系统中的微伺服误差，提升定位精度。
• 微致动器：提供微尺度三自由度致动，用于精密伺服控制。
• 精密定位：实现快速精确的位置补偿，满足高精度定位需求。