微电磁执行器

驱动距离提升一倍

通过插入六个磁芯，该微电磁执行器的临界驱动距离至少提升105.32%，显著增强MEMS安全与解除保险装置中爆炸序列对齐的可靠性。

Mo, Yang · Nie, Weirong · Baolin, Cheng · Zizhuo, Cai · Zeyi, Chai · 曹云 · Xi, Zhanwen · 王炅

IEEE Transactions on Electron Devices 2025

参数信息

临界驱动距离提升

105.32 %

驱动距离提升（线圈4 vs 线圈3）

12.03 %

技术优势

驱动距离翻倍

插入六个磁芯后，线圈4的临界驱动距离提升至少105.32%，证明磁芯能显著增强磁场与驱动力。

线圈4优于线圈3

全磁芯插入时，线圈4的驱动距离比线圈3高至少12.03%，说明线圈4的布局在驱动性能上更具优势。

应用场景

• MEMS执行器：用于MEMS安全与解除保险装置中驱动爆炸序列对准，提升可靠性。
• 微流控：可用于驱动微流控芯片中的微阀或微泵，实现流体精确控制。
• 微纳制造：采用标准微加工工艺制造，易于与其他MEMS器件集成。
• 精密仪器：可应用于需要精确位移控制的精密仪器中，如光学对准或样品定位。