全量程±3.5微米
采用多段定尺拼接扩展量程并消除拼接误差,在接近一米的测量范围内实现高精度绝对定位,结构基于PCB工艺易于制造。
彭凯 · Bowen, Wang · Pu, Hongji · Wang, Hewen · Yu, Zhicheng
IEEE Sensors Journal 2023
通过拼接两段600 mm定尺实现988 mm全量程,突破单段测量长度限制。
动尺上沿测量方向布置前后两组感应电极,结合屏蔽层增强,有效消除拼接误差。
全988 mm范围内测量精度±3.5 μm,且基于标准PCB工艺制造,成本低、易于批量生产。
通过特殊的发射和接收电极,将动尺输出的感应信号传输到定尺,避免了复杂走线。