拼接式电容位移传感器

全量程±3.5微米

采用多段定尺拼接扩展量程并消除拼接误差,在接近一米的测量范围内实现高精度绝对定位,结构基于PCB工艺易于制造。

彭凯 · Bowen, Wang · Pu, Hongji · Wang, Hewen · Yu, Zhicheng

IEEE Sensors Journal 2023

参数信息

测量精度
3.5 μm
单段定尺测量长度
600 mm
全测量范围
988 mm

技术优势

量程近一米

通过拼接两段600 mm定尺实现988 mm全量程,突破单段测量长度限制。

拼接误差消除

动尺上沿测量方向布置前后两组感应电极,结合屏蔽层增强,有效消除拼接误差。

精度达微米级

全988 mm范围内测量精度±3.5 μm,且基于标准PCB工艺制造,成本低、易于批量生产。

布线大幅简化

通过特殊的发射和接收电极,将动尺输出的感应信号传输到定尺,避免了复杂走线。

应用场景