氯化铵溶液表面改性剂

开启电压正移 0.7 V

一种溶液法 ZnO 表面改性策略，通过氯化铵溶液浸泡有效降低有源层氧空位、平滑表面并增强浸润性，使 TFT 的开启电压、亚阈值摆幅和迁移率同步改善。

76234524 · Dong, Junchen · 林金龙 · 韩德栋 · 张幸

Applied Surface Science 2025

参数信息

开启电压

-1.24 V

亚阈值摆幅

104.4 mV/dec

场效应迁移率

25.55 cm²/V·s

处理时间

30 s

技术优势

不需要高温退火

在室温下用氯化铵溶液浸泡即可完成表面改性，与常规热退火工艺相比大幅降低热预算。

工艺简单且易放大

无需复杂设备，溶液处理可均匀作用于大面积基板，适合批量生产。

表面更平滑且更亲水

处理后 ZnO 表面粗糙度降低、浸润性增强，有利于后续界面工程或溶液法沉积。

应用场景

• 柔性显示 TFT：低温溶液处理兼容柔性衬底，可直接用于柔性显示背板。
• 氧化物半导体存储器：改善的亚阈值摆幅和界面质量有助于提升存储器读写速度和可靠性。
• 薄膜传感器：增强的浸润性和表面平滑度有利于敏感层均匀沉积，提高传感器一致性。
• 微流控芯片：亲水表面促进微通道内流体流动，可用于微流控芯片中 ZnO 基器件集成。