单晶碳化硅

水膜增塑抗损伤

水膜辅助纳米压痕下，单晶碳化硅的塑性变形能力显著提升，位错活动更均匀。

Zezheng, Ou · Wu, Weilong · 戴厚富

Applied Physics A: Materials Science and Processing 2023

技术优势

塑性更好

水膜使初始pop-in深度减小，材料塑性变形能力提高。

位错活动更均匀

完美位错在{111}面[110]方向的迁移随水膜厚度增加而均匀化。

应用场景

• 精密加工：用水膜辅助加工提升材料塑性，减少脆性损伤。
• 纳米力学：为水膜影响纳米压痕行为提供机理认识。