熔融石英玻璃微结构

纳米级表面粗糙度

通过热纳米复合材料压印与烧结制备，表面粗糙度低至48.2 nm，可见光透过率超过90%，适用于光学、微流控与谐振器。

Zhang, Qinglong · Hu, Youwang · Haikuan, Chen · 段吉安 · 孙小燕

Journal of Alloys and Compounds 2025

参数信息

表面粗糙度

48.2 nm

可见光透过率

90 %

深宽比

0.84

技术优势

表面粗糙度低至纳米级

优化PVB粘合剂的分子量与含量，压印后烧结得到光滑表面，满足光学级应用。

可见光透过率超过90%

致密化烧结消除内部孔隙，获得高光学透明度，适用于透镜、窗口等元件。

高深宽比微结构

压印工艺可复制高深宽比凸形特征，有利于微流控沟道和光学谐振器设计。

应用场景

• 微光学元件：高透过率与纳米级粗糙度可直接用于透镜、微透镜阵列等光学元件。
• 微流控芯片：高深宽比微图案适合制作微流道和反应室，无需额外键合。
• 光学谐振器：可控表面形貌和透明度可集成到光学谐振器作为反射或耦合元件。