气密封装石墨烯谐振器

漏率骤降万倍

通过高真空退火强化石墨烯与衬底黏附，实现完全密封鼓形谐振腔，压力响应高度可重复，长期稳定性远超传统石墨烯器件。

Yang, Xiao · Fang, Jiawei · 张宇辰 · Wu, Hongjian · Hu, Feng · Liu, Ying · 邓光伟 · 秦石乔 · Liu Xinfeng

ACS Applied Materials & Interfaces 2026

具体参数

平均漏率降低倍数

1.2 × 10⁴

腔压下降百分比

1.4 %

压力灵敏度

310 kHz/mbar

相对灵敏度

2.99 %/mbar

技术优势

漏率降万倍

高真空退火显著增强石墨烯与 SiO₂/Si 衬底的黏附，完全密封鼓腔，使平均漏率降低 1.2 × 10⁴ 倍。

两月不失压

密封腔压力在 60 天测试中仅下降 1.4%，证明退火后器件具有极佳长期气密性。

灵敏度破三百

压力灵敏度高达 310 kHz/mbar（2.99%/mbar），远超传统石墨烯谐振器。

两种激励都稳

密封器件在电气和光学激励下均显示出优秀的长期稳定性，响应高度可重复。

应用场景

• 超高灵敏压力传感器：将极小气压变化转为大频移，探测微弱压力波动。
• 气密性检测设备：用作标准泄漏源，校准封装漏率测试系统。
• 石墨烯NEMS器件：解决界面漏气，推动石墨烯谐振器实用化。
• 微纳真空封装：保障微腔长期真空，降低真空封装成本。