低功耗高可靠
采用玻璃基底MEMS工艺，集加热器与双热敏电阻，实现高可靠低功耗的加速度测量。
叶一舟 · 万树 · Hou, Chen · 贺学锋 · Shunbo Li, Shunbo
Micromachines 2024
传感器能够测量超过 80 m/s² 的加速度，覆盖多数运动测量场景。
线性灵敏度约 110.69 mV/g，有利于检测微弱加速度变化。
传感器基于热对流原理，功耗低，适合电池供电设备。
无机械运动部件，采用 MEMS 工艺制造，可靠性高。