MEMS工艺可量产
以非晶Ta2O5功能薄膜为敏感元件的电容式pH传感器，采用MEMS工艺制造，兼具高灵敏度和长期稳定性。
Yuzhen, Guo · 张增星 · Yao, Bin · Zhang, Shiguang · 柳建伟 · Zhao, Zhou · Chenyang, Xue
Sensors 2023
传感器在pH 2~12范围内灵敏度达到63.12 mV/pH，接近能斯特理论极限。
pH响应线性相关系数R²=0.99904，保证宽范围内测量准确。
设计信号处理电路和软件滤波算法，提高检测精度和抗干扰能力。
传感器漂移为5.1 mV，有利于长期稳定性。