接枝二氧化硅抛光颗粒

抛光液仅两种成分

一种只由接枝二氧化硅纳米颗粒和碳酸钠组成的绿色抛光液，告别传统有毒复杂配方，在硅晶圆上实现原子级平整表面。

Dong, Wang · Xie, Wenxiang · 张振宇 · 王建梅 · Shi, Chunjing · 孟凡宁 · Zhuang, Xuye · Tong, Dingyi · Cao, Chun

Applied Surface Science 2024

参数信息

表面粗糙度 Sa（胺基改性）
0.219 nm
表面粗糙度 Sa（甲基改性）
0.247 nm
材料去除率（胺基改性）
132.53 nm/min
材料去除率（甲基改性）
84.82 nm/min
胺基改性颗粒 MRR 提升比例
18.2 %
甲基改性颗粒 MRR 降低比例
24.4 %
静电势能（胺基改性）
4.884 eV
静电势能（甲基改性）
6.753 eV

技术优势

配方极简

抛光液仅含接枝二氧化硅纳米颗粒和碳酸钠，无需氧化剂、分散剂等任何其他成分。

绿色环保

不含传统抛光液中的有毒成分，减少环境污染和废液后处理成本。

改性效果可调

胺基改性颗粒提升材料去除率，甲基改性颗粒降低去除率，可按需选择。

应用场景