薄板谐振压电驱动器

自移动爬坡

基于纵振与弯振混合模态，驱动器的自移动能力可爬越斜坡，为微型驱动提供新的结构思路。

Wang, Yingzhi · 邓杰 · Li, He · Tian, Xinqi · 陈维山 · 刘英想

IEEE Transactions on Industrial Electronics 2023

参数信息

最大速度

61.68 mm/s

爬坡角度

20 °

步进位移分辨率

2.2 μm

技术优势

会自己动

利用纵振与弯振的混合模态在薄板上产生直线自移动，无需外部导轨或传动机构，简化了系统结构。

应用场景

• 微型驱动：用来自移动并爬坡，省去导轨和传动，缩小驱动器体积。
• 光学聚焦系统：以2.2 μm步进分辨率精确调节透镜位置，实现微型光学聚焦。