亚微米级长行程金属导轨

平面度收敛至亚微米

通过时间控制磨削与高精度测量迭代,突破传统加工限制,实现700 mm金属导轨亚微米级面形精度,为高精度液体静压导轨提供确定性加工路径。

Li, Zelong · Dai, Yifan · Sun, Zizhou · Guan, Chaoliang · Lai, Tao · Hanwei, Xu · Xinyao, Zhou

Journal of Manufacturing Processes 2025

参数信息

面形精度(收敛后)
0.825 μm
测量机稳定性
0.1 μm

技术优势

精度可迭代收敛

采用时间控制磨削(计算机确定性加工原理)改进传统磨削,通过测量-加工迭代提升精度,最终面形精度收敛至亚微米。

测量精度有保障

自研导轨平面度测量机采用高精度玻璃气浮导轨和参考镜分离系统误差,稳定性优于0.1 μm,为加工提供可靠反馈。

验证效果明确

实验验证700 mm长金属导轨面形精度从PV 2.617 μm收敛至PV 0.825 μm,实现亚微米级精度,且方法具有确定性。

应用场景