单晶微透镜阵列

纳米级表面精度

慢刀伺服加工的微透镜阵列,通过理论建模优化工艺参数,实现了高精度低成本的光学元件制造。

Sun, Yazhou

Journal of Manufacturing Processes 2023

参数信息

PV
0.741 μm
Sa
22 nm
Sq
28 nm
Sz
59 nm