纳米森林湿度传感器

非接触式高灵敏

采用氧等离子体刻蚀制备的亲水纳米森林结构,具有超高比表面积和三维直立形貌,能够实现水分子快速深层传输,适用于非接触式无声语音识别。

杨化滨 · Qirui, Zhang · Shuo, Chen · Shuai, Liu · Shuxin, Chen · Qiming, Guo · Chen, Guidong · Xin, Liu · 周娜 · Li, Wenwu · 毛海央

International Journal of Extreme Manufacturing 2026

参数信息

灵敏度
0.913 pF/% RH
识别准确率
98.51 %

技术优势

非接触,不扰人

利用湿度传感器远程感应口鼻呼出的水汽,摆脱了接触式电极对皮肤的压迫和位置漂移问题。

高湿区灵敏度超高

亲水纳米森林结构提供了极大的比表面积和三维直立通道,使传感器在90%相对湿度下仍能保持0.913 pF/% RH的电容响应。

应用场景