断裂强度提升2–3倍
针对210mm大尺寸薄硅片,揭示了厚度、锯丝磨损状态和弯折方向对断裂强度的影响规律,为降低生产和后处理过程中的碎片率提供数据支撑。
Cheng, Dameng · 高玉飞 · Guanzheng, Li
Engineering Fracture Mechanics 2024
垂直锯痕方向弯折的特征断裂强度是平行方向的2–3倍,为设计抗断裂取向提供依据。
增加硅片厚度可提高特征断裂强度,为薄片化与机械可靠性的权衡提供数据。