MEMS摩擦真空计

两月漂移0.608%

利用挤压膜阻尼实现高真空测量，可嵌入小型真空室长期监测封装真空度与材料放气。

Wang, Chengxiang · 李青松 · Wu, Yulie · Hou, Zhanqiang · 吴学忠 · 肖定邦

Vacuum 2025

参数信息

稳定性偏差

0.608 %

L型管维持真空度

1.5 Pa

气体负载

1.08 Pa cm³/s

K型管封装真空度

1.45 Pa

K型管泄漏率

8.4 Pa cm³/s

技术优势

长期漂移极小

稳定性偏差在两个月内接近0.608%，适合持续在线监测而不需频繁校准。

可直接嵌入腔体

该真空计被集成进低温共烧陶瓷金属管和Kovar管中，实际测量了激光焊接工艺后的封装真空度和材料放气。

长期维持高真空

L型管在将近一年（336天）内维持了1.5×10⁻² Pa的真空度，证明其可用于长期真空保持监测。

应用场景

• MEMS真空传感器：嵌入微腔原位测压，无需外部接口。
• 真空计量：提供长期稳定的真空度参考，验证计量设备。
• 真空封装监测：监测封装腔体长期真空保持与泄漏率。