温度漂移抑制锁相环

温漂自抵消

通过频率合成单元和自适应锁定范围，让MEMS谐振加速度计的温度漂移在10°C到60°C范围内互相抵消95%。

Ma, Liangbo · Wang, Zheng · Zhaoyang, Zhai · 王坤峰 · Xiong, Xingyin · 邹旭东

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

偏置不稳定性

3.7 μg

噪声基底

1.24 μg/√Hz

满量程范围

±2 g

技术优势

温漂互相抵消

通过调节分频因子，让温度敏感谐振器和加速度敏感谐振器的频率变化相互抵消，不必严格匹配两者的温度系数。

锁定范围自动扩展

SAFR算法自动调整锁相环的锁定范围，扩大了加速度计的满量程范围。

应用场景

• MEMS加速度计：直接替换现有读出锁相环，在宽温范围保持输出稳定。
• MEMS传感器接口电路：提供温度自补偿的频率读出方案，降低后级校准负担。
• 惯性测量单元：作为IMU中的加速度计前端，改善全温范围内的偏置重复性。