大转角且高分辨
级联放大与柔性反馈实现亚弧度级双向扫描，自感测能力省去外置位移传感器，闭环控制下两轴可独立瞄准。
Han, Wenwen · 翟崇朴 · Shao, Shubao · Tian, Zheng · Qian, Lu · 张舒文 · Minglong, Xu
Review of Scientific Instruments 2024
级联放大机构将压电行程放大约一个量级到亚弧度，脱离小角度扫描限制。
大行程下分辨率未受损，比值超 3.90 × 10⁴，优于现有 FSM。
用柔性部件反馈，无需外部传感器，闭环控制下两轴独立工作。
复杂轨迹跟踪的相对误差低于 0.02%，适合高精度指向应用。