原子级表面
一种含二氧化铈、烟酸和海藻酸钠的绿色CMP抛光液，可在熔融石英上实现亚埃级表面粗糙度，同时保持高材料去除率。
刘立胜 · 张振宇 · Shi, Chunjing · 周海 · Liu, Dongdong · Li, Yanjun · Xu, Guomin · Feng, Junyuan · 孟凡宁
Materials Today Sustainability 2023
抛光后表面粗糙度Sa低至0.098 nm（20×20 μm²扫描面积），达到原子级光滑，满足高性能光学器件要求。
材料去除率达到7.65 μm/h，在获得原子级表面的同时保持高效率，有利于实际生产。
抛光液由二氧化铈、烟酸、海藻酸钠和去离子水组成，不含毒害成分，满足环保要求。
DFT和分子动力学模拟表明，烟酸与熔融石英形成配合物，被活性二氧化铈通过配位键剥离，从而实现原子级去除。