双螺旋MEMS扫描器

成像速率提升60倍

该扫描器通过双螺旋共振机制,在不牺牲成像质量的前提下大幅提升扫描频率和视场,可适配光声内窥镜等微型成像系统。

Linyang, Li · Liang, Xiao · Qin, Wei · Guo, Heng · 齐伟智 · Jin, Tian · 唐建波 · 奚磊

Optica 2023

参数信息

成像速率提升倍数
60 ×
视场提升倍数
2 ×

技术优势

成像速率翻60倍

双螺旋共振扫描机制使MEMS扫描器能够以高频率工作,在光声内窥镜演示中成像速率提升超过60倍,大幅缩短成像时间。

视场扩大两倍

在不牺牲成像质量的前提下,视场提升超过两倍,使单次扫描覆盖更大区域,减少扫描次数或位移需求。

应用场景