抛物柱面HfO2/Al2O3多层膜

单色并准直X射线

该多层膜在抛物柱面衬底上可将发散X射线转化为单色平行束，适用于需要高准直单色X射线的场合。

Zhao, Huibin · Yuan, Tianyu · 李艳丽 · 孔祥东 · Sun, Xuepeng · 韩丽

Coatings 2024

参数信息

周期厚度

3.80 nm

双层层数

60

一级X射线反射率

45 %

反射光束发散角

0.67 mrad

技术优势

单色准直一体化

在抛物柱面基底上制备多层膜，同时实现X射线的单色化和准直，无需额外光学元件。

发散角仅0.67 mrad

反射光束发散角为0.67 mrad，接近理想的平行光束，满足高准直要求的应用。

反射率约45%

一级X射线反射率约45%，保证了单色化后的X射线具有较高的强度。

应用场景

• 精密仪器与测量：为X射线精密测量提供单色平行光源，替代传统单色器，简化光路。
• 光学与光子学：实现X射线单色化和准直一体化，可集成于X射线光学系统。
• 光刻制造：为光刻提供高准直单色X射线，提高曝光精度和分辨率。