纳米级精度
采用单角锥反射器实现双重衍射，在提供高分辨率信号的同时显著提升对准容差，适用于精密位移测量。
Xing, Hongwen · 叶国永 · Liu, Hui · Shaobo, Jin · Xuling, Liu · Yalin, Zhang
IEEE Sensors Journal 2023
单角锥反射器的逆向反射特性使系统对安装角度偏差不敏感，从而放宽了对准要求。
光栅-金字塔结构实现光学四倍频，使输出信号频率倍增，从而提升分辨率。
实验测得插值精度达3 nm，满足纳米级位移测量需求。