Q值破万
通过组合系绳同时抑制锚点损耗并降低动态阻抗,在1 GHz以上实现高Q值。
Liu, Wenli · Yujie, Lu · Chen, Zeji · Jia, Qianqian · Zhao, Junyuan · Bo, Niu · Wang, Wei · Yalu, Hao · Zhu, Yinfang · 杨晋玲 · 杨富华
Sensors 2023
组合系绳不仅在 3 阶模式将动态阻抗降低 33%,在 4 阶模式降低 20%,缓解了高频下动态阻抗过大的问题。
基于 SOI 的制备工艺简单可靠,可批量制造,有利于低成本量产。