GHz硅基MEMS谐振器

Q值破万

通过组合系绳同时抑制锚点损耗并降低动态阻抗,在1 GHz以上实现高Q值。

Liu, Wenli · Yujie, Lu · Chen, Zeji · Jia, Qianqian · Zhao, Junyuan · Bo, Niu · Wang, Wei · Yalu, Hao · Zhu, Yinfang · 杨晋玲 · 杨富华

Sensors 2023

参数信息

品质因子
10920
动态阻抗降低幅度(3阶)
33 %
动态阻抗降低幅度(4阶)
20 %

技术优势

系绳同时降阻抗

组合系绳不仅在 3 阶模式将动态阻抗降低 33%,在 4 阶模式降低 20%,缓解了高频下动态阻抗过大的问题。

工艺简单可靠

基于 SOI 的制备工艺简单可靠,可批量制造,有利于低成本量产。

应用场景