产率高一倍
辉光放电模式使放电气道温度稳定在300–310 K,臭氧产率远高于传统流注模式。
Li, Jiaxin · Jianxiong, Yao · 何锋 · Ouyang, Jiting Tingi
Plasma Chemistry and Plasma Processing 2024
辉光放电气道温度300–310 K
流注放电气道温度440–465 K