亚微米级检测
该系统利用光学衍射替代传统显微视觉，实现亚微米级装配对准检测，为精密装配提供新型装置。
Taiyu, Su · 张之敬 · 金鑫 · 陈小 · 熊健 · Erbo, Li
2024
用光学衍射原理替代图像识别，将检测精度从微米级提升到亚微米级。
激光共焦传感器实时监测反馈，与压电陶瓷驱动配合，确保纳米级移动与衍射结果的映射关系稳定。
实验测试证实系统能达到亚微米对准检测精度，可直接用于高精度装配。