太赫兹热障涂层测厚法

误差低于1%

通过物理约束降维与微变异扰动,从太赫兹信号直接解算热障涂层厚度,无需样品先验信息。

曹丙花 · Mengyong, Yu · 范孟豹 · Daoming, Zhang · 叶波

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

平均相对误差率
1 %

技术优势

免先验信息

折射率可通过样品太赫兹信号的飞行时间换算,将厚度与飞行时间用于计算折射率,实现参数降维,省去样品预测量。

误差低于1%

实验测得平均相对误差率低于1%,显著优于飞行时间法的不准确性。

结果稳定

通过监测种群半径并在多样性不足时引入“微变异”扰动,避免算法陷入局部最优,保证厚度测量结果稳定。

应用场景