低压CMUT换能器

20V即有声压

通过工艺约束设计，该CMUT在低直流偏压下即可产生可测量的声学输出，同时保持高制造可靠性和防水封装。

Liu, Guochang · Li, Zhaodong · Liu, Huimin · Xiaohao, Wang · 李星辉 · Wendong, Zhang · Wang, Renxing Xin

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2026

参数信息

空气中谐振频率
1.42 MHz
水中谐振频率
0.75 MHz
表面声压
21.3 kPa
电压效率
1.42 kPa/V

技术优势

低压即可出声

20 V直流偏置加15 Vpp交流激励就能产生可测量的声输出，不需要上百伏的高压驱动，更适合便携和植入式系统。

工艺不挑片

结构参数由目标频率、低压约束和工艺可行性共同确定，不依赖极端尺寸；多通孔释放和大开口设计让牺牲层去除更均匀，成品率更高。

封装更薄更防水

用Parylene C薄膜实现腔体密封和防水，替代传统厚聚合物封装层，降低了对声波传输的干扰，同时保持电绝缘和防潮。

应用场景