调平精度33.2 μrad
集成准零刚度被动隔振与音圈电机主动隔振，实现宽频域隔振，调平运动与隔振运动结构解耦。
Lanyu, Zhang · Shaoxuan, Zhang · 高健 · Yi, Junhao · Hao, Wen · Yun, Chen · Xin, Chen
Robotics and Computer-Integrated Manufacturing 2024
集成准零刚度被动隔振与音圈电机主动隔振，可有效抑制不同频率和幅值的振动，隔振率达90%。
准零刚度机构限制隔振运动为垂直方向，与调平倾斜旋转运动解耦，从而在精密调平的同时不牺牲隔振性能。
通过三轴调平与PID-PPF控制，调平偏差低至33.2 μrad，满足芯片装载的高精度对准需求。
主动隔振单元仅由三个音圈电机组成，实现简洁紧凑的主动控制架构。