尺寸公差1.5μm
采用电化学微加工一体成型，实现高精度、低表面粗糙度与侧壁完美垂直的金属波导滤波器，突破WR-1.0频段制造难题。
Miao, Zhuowei · Xing, Liu · 郝张成 · 曾永彬 · Chen-Yu, Ding · 洪伟
IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 2023
使用电化学微加工，最大制造公差控制在1.5 μm以内，确保了滤波器的高尺寸精度。
电化学微加工工艺实现了低表面粗糙度，有利于降低高频下的导体损耗。
该工艺确保了侧壁的完美垂直度，避免了传统加工中的倾斜问题，提高了滤波器性能。
采用一体成型工艺，无需额外对准或组装，降低了装配误差。