椭型分压匀化电场
采用椭圆型分压电阻链替代传统环形结构,有效改善边缘与环间电场畸变,提高灵敏区电场均匀性。
赵军 · Li, Xinqing · Liu, Manwen · 李正
Micromachines 2026
椭圆分压链提供独立分压,改善阴极环间电场均匀性。
给出电阻值与椭圆几何尺寸的定量关系,为电场均匀性提供理论依据。
通过TCAD仿真获得电位与电场分布、电子浓度分布及表面电位梯度。