110面刻蚀效率更高
揭示单晶金刚石在聚焦镓离子束加工中的取向依赖性，为高精度纳米制造提供工艺指导。
Yu, Yang · 王全龙 · Lun, Chen · 马成龙 · Xing, Zheng · Jing-hao, Shi
Diamond and Related Materials 2025
在相同加工条件下，(110)取向表现出更高的溅射效率，有助于缩短加工时间并提高产量。
拉曼光谱和分子动力学模拟一致表明，(110)取向更易发生非晶化和石墨化，从而解释了其高损伤敏感性。
分子动力学模拟揭示，Ga离子在(110)取向中遇到的阻力较小，穿透更深，损伤区域更大。