熔融石英激光抛光

零缺陷光学表面

通过热场与流场协同调控,实现脆性光学元件亚表面缺陷的深度修复,而非仅表层去除。

Yang, Zican · Liu, Zhichao · 程健 · Zhao, Linjie · 陈明君 · 许乔 · Wang, Shengfei · Geng, Feng · Kim, Dongsik · Hongguang, Xu

International Journal of Mechanical Sciences 2025

参数信息

缺陷去除率
99.7 %

技术优势

缺陷去除率高

通过热场与流场协同调控,连续波、大光斑、低功率激光产生更均匀的热场,使亚表面缺陷更彻底愈合,在粗糙表面(Ra=0.2 μm)上缺陷去除率达99.7%。

非接触无损伤

采用非接触、非烧蚀的激光抛光方式,避免引入新的机械损伤,同时通过热流场调控实现材料表面重塑,保护熔融石英的完整性。

机理驱动工艺优化

建立多物理场模型揭示热流行为与缺陷演化规律,并开发快速激光切片与暗场成像技术评估亚表面缺陷,为工艺优化提供定量依据,从而显著提升去除率。

应用场景