氩注入熔融石英表面

抗激光损伤阈值提升

通过优化离子能量形成压应力、改善表面质量并减少结构缺陷，协同提升熔融石英的抗激光损伤性能。

李波 · Xiang, Xia · Yuan, Zhigang · Bo, Zhong · 祖小

Materials Today Communications 2024

参数信息

离子注入剂量

5×10^16 ions/cm²

技术优势

表面压应力形成

离子注入引入压应力，可抑制裂纹扩展，从而提升抗激光损伤性能。

阈值提升且损伤增长抑制

在10–30 keV能量范围内，压应力、表面质量改善和结构缺陷减少协同作用，显著提高激光损伤阈值并抑制损伤增长。

应用场景

• 高功率激光系统：用作高功率激光器的窗口和透镜，承受高能激光而不损伤。
• 强激光光学元件：在强激光光学元件中替换普通熔融石英，延长元件寿命。