磁控溅射NiCrMoAl合金薄膜

致密高硬高结合

通过优化溅射功率与靶基距，在Inconel 718上获得兼具致密微结构、低粗糙度与优异力学性能的镍基合金防护薄膜。

陈书赢 · Jianfei, Xu · Huang, Qingwei · Shaosong, Li · Meng, Guo · Zhao, Haichao

Journal of Materials Science 2026

参数信息

表面粗糙度
2.08 nm
硬度
11.78 GPa
弹性模量
188.9 GPa
结合强度
17.5 mN

技术优势

硬度最高达11.78GPa

在250W、120mm溅射参数下获得最高硬度和弹性模量，源于最致密的微观结构。

表面粗糙度低至2.08nm

低粗糙度减小压头投影面积，有利于保持高硬度，并降低摩擦系数。

结合强度达17.5mN

在最优参数下获得最大结合强度，提升薄膜与基底的附着可靠性。

应用场景