加工精度提升87%
将表面声波引入掩膜电化学微加工，通过声辐射力和声流协同去除气泡，解决了气泡粘附导致加工精度下降的长期难题。
Yang, Xiaochen · Changhao, Wu · Meng, Li · Hongkai, Xi · 杜立群 · 李经民
Journal of Materials Processing Technology 2025
表面声波产生的声辐射力和声流协同作用，将气泡从加工表面移除，减少气泡数量。
气泡去除后，电极反应界面更有效，电流效率得以提高。
反应电阻和腐蚀电位降低，表明电化学反应所需能量减少。