陶瓷微阵列表面

可控微阵列结构

通过V形金刚石砂轮精密磨削，在多种陶瓷及陶瓷基复合材料表面高效加工出规则微阵列结构。

Xingyu, Mou · 鲁艳军 · Mo, Rui · Sun, Jiajing

Materials Today Communications 2024

参数信息

形状精度PV

18 µm

V形槽底角误差

1 °

技术优势

角度误差小

四种陶瓷材料上加工的V形槽底角误差均小于1°，说明砂轮修整和磨削过程能稳定保持微结构形状。

形状精度高

形状精度PV值控制在18 µm以内，满足微阵列结构的精密加工要求。

材料适应广

该方法成功在单晶碳化硅、铝基碳化硅、反应烧结碳化硅和玻璃陶瓷四种材料上加工出规则微阵列结构。

应用场景

• 陶瓷基复合材料：在陶瓷基复合材料表面加工微阵列结构，用于散热、减摩等功能。
• 微结构功能表面：精确控制微阵列几何特征，实现特定的光学、润湿或力学功能。
• 精密磨削加工：用修整后的V形金刚石砂轮高效加工高精度微阵列结构，替代复杂工艺。