偏置调节MEMS谐振器

全域温漂低至0.5%

仅需调节偏置电流即可稳定品质因数，无需额外结构或电极，适配所有MEMS谐振器。

赵杨 · 施芹 · Xia, Guaming · 裘安萍

2023

参数信息

品质因数

29.5k

Q值温度稳定性

0.5 %

技术优势

温漂近乎归零

在−40至60 °C范围内，Q值变化从86.5%压缩到0.5%。

不改谐振频率

稳定Q值的同时谐振频率保持不变，不会引入额外的频率误差。

结构零添加

无需额外的调谐结构或电极，对工艺完全友好。

应用场景

• 精密传感器：消除温度引起的Q值漂移，提高传感器输出一致性。
• 微型谐振器件：在不改变频率的前提下稳定Q值，简化谐振器设计。
• 物联网时钟源：在不同温度下保持频率基准的稳定，无需额外补偿电路。
• 射频前端滤波：稳定滤波器带宽和选择性，抵抗环境温度变化。