原位光催化增效
将紫外光源集成至抛光工具内，在毫米级液膜中构建受限光催化区域，实现在工件表面原位生成羟基自由基，并以固定磨粒实现延性域去除。
郭晓光
International Journal of Mechanical Sciences 2026
表面粗糙度 Sa 7.15 nm
毫秒级液膜厚度
原位生成羟基自由基