抗损伤提升四成
在多层介质光栅的不同制造阶段引入纳秒激光调节,有效消除结节缺陷的不利影响,显著提升光栅的皮秒激光损伤阈值。
Shuai, Kun · Yuan'an, Zhao · 刘小峰 · Lin, Xiangkun · 夏志林 · 邱克强 · 李大卫 · He, Gong · Yan, Zhou · Sun, Jian · Zhou, Li · 姜有恩 · 戴亚平 · 邵建达
High Power Laser Science and Engineering 2023
皮秒激光损伤阈值比未处理结节缺陷高约40%,显著提升光栅在高峰值功率激光下的可靠性。
在多层介质膜上调节可避免结节缺陷周围光栅结构的损失。
残余结节喷出坑在辐照激光能量密度超过未处理光栅纳秒损伤阈值的两倍时,损伤抗性仍保持稳定。
纳秒激光调节可集成到多层介质膜或最终光栅产品的制造阶段,无需额外设备。