长脉冲透射热成像涂层测厚

非接触快速测厚

该方法利用长脉冲透射热成像，通过半升温特征时间测定半透明有机涂层厚度，无需破坏样品，可对不均匀涂层进行全场测量。

卓立军 · Liu, Changhu · Jun, Zhou · 朱建国 · Li, Chaoyi · Fernández-López, Antonio

Infrared Physics and Technology 2024

参数信息

平均相对误差

<4 %

技术优势

全场测量

热成像相机采集整个表面温度响应，一次激励即可获得完整厚度分布，适合不均匀涂层。

非接触不损伤

无需接触或破坏样品，适用于在线检测和易损涂层。

可测半透明涂层

基于透射热成像，针对光学半透明有机涂层有效，弥补传统方法不足。

应用场景

• 涂层质量检测：在线检测涂层厚度均匀性，替代破坏性抽样，保证产品质量。
• 微纳制造工艺监控：监控微纳制造过程中薄膜涂层的厚度变化，避免工艺漂移。
• 复合材料涂层评估：评估复合涂层中半透明层的厚度分布，指导工艺优化。