深亚波长缺陷检测器件

突破光学衍射极限

该器件基于形式双折射破缺原理，在图案化晶圆上实现了深亚波长缺陷的准可视化检测，将缺陷可探测尺寸推进到λ/10以下。

Liu, Jiamin · Zhu, Jinlong · Zhe, Yu · Xianrui, Feng · 76738527 · Lei, Zhong · Jinsong, Zhang · 谷洪刚 · 陈修国 · 江浩 · 刘世元

International Journal of Extreme Manufacturing 2025

具体参数

尺寸缺陷的分类准确率

90 %

技术优势

缺陷检测灵敏度突破λ/10