锯齿电极平面电容传感器

灵敏度显著更高

采用锯齿状电极设计，对接近导体的检测灵敏度明显优于传统平面电容传感器。

Wang, Meng · Yongheng, Li · Shi, Yanyan · Fenglan, Huang · 王萌

Sensor Review 2024

技术优势

灵敏度明显更高

锯齿状电极结构增大了边缘电场，从而在与传统结构相同条件下产生更强的电容变化。

应用场景

• 精密位移测量：利用高灵敏度感知微小位移变化，实现精密测量。
• MEMS接近感知：作为MEMS接近传感器核心元件，检测导体靠近。
• 电子皮肤接近觉：集成于电子皮肤中，实现非接触式接近感知。
• 机器人避障：安装在机器人上，提前检测障碍物以规避碰撞。