温差压力同步测
利用热电与压阻的空间正交性实现完全解耦,在同一器件上同时高灵敏测量温度和压力,无需复杂解耦算法。
Jincheng, Wang · Chen, Rui · Dongsheng, Ji · Wenjun, Xu · Wenzhuo, Zhang · Zhang, Chen · 周伟 · 罗涛
Small 2023