面内热电-面外压阻柔性传感

温差压力同步测

利用热电与压阻的空间正交性实现完全解耦,在同一器件上同时高灵敏测量温度和压力,无需复杂解耦算法。

Jincheng, Wang · Chen, Rui · Dongsheng, Ji · Wenjun, Xu · Wenzhuo, Zhang · Zhang, Chen · 周伟 · 罗涛

Small 2023

具体参数

温度灵敏度
281.46 µV K⁻¹
压力灵敏度
2.181 kPa⁻¹
kPa K
7 %