球形氧化铈抛光液

粗糙度0.33纳米

以球形氧化铈为核心磨料的磁辅助抛光液，可在低损伤下实现光学玻璃的超光滑表面。

王鸿栋 · Yue, Shi · 王鲲鹏 · 雷红 · 张建华

ACS Omega 2026

参数信息

表面粗糙度

0.33 nm

技术优势

表面无划痕

球形氧化铈磨料在加工中运动平稳，避免尖锐棱角对表面造成划伤。

兼顾高去除率

八面体氧化铈具有高材料去除率，而球形氧化铈在保持表面质量的同时也具备良好的去除效率。

应用场景

• 光学元件抛光：用于光学镜片最终抛光，获得原子级平滑表面。
• 半导体衬底平坦化：为晶圆提供低损伤平坦化，满足先进制程要求。
• 超精密加工：在超精密加工中实现纳米级表面质量控制。
• 高精度光学制造：支持高精度光学元件制造中的低缺陷抛光。