小口径深孔内壁检测系统

微米级全景成像

面向7–17 mm孔径的内壁可视化检测系统，以全景拼接和定量标定替代传统间接测量，实现微米级缺陷辨识。

Yichen, Xu · Kang, Jiehu · Sun, Zefeng · Zhao, Benhua · Yongli, Wang · Feng, Luyuan · Zhao, Zongyang · 张振 · Jian, Liang · Ren, Yuqi · Yifei, Chen · Haokai, Wu · 吴斌

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2026

参数信息

分辨率

12.622 μm

像素当量标定误差

3.146 nm/pixel

线宽测量平均精度

99.646 %

最大长径比

10.857

技术优势

微米级分辨率

基于数值孔径和相对照度的定量设计，系统光学分辨率达12.622 μm，可检出微小缺陷。

高精度标定

基于线扩散函数的像素当量标定误差小于3.146 nm/pixel，保障定量测量准确性。

全景拼接成像

通过全景成像技术获取深孔内壁完整展开图，并集成YOLOv5s实现线宽自动测量。

大长径比适用

可测量长度达76.296 mm，对应最大长径比10.857，覆盖常见小孔深腔。

应用场景

• 精密仪器与测量：提供深孔内壁微米级定量成像与测量，替代常规间接检测。
• MEMS与微流控：可检测微流道、微孔内壁缺陷，保障器件质量。
• 高级陶瓷与复合材料：适用于陶瓷或复合材料深孔的微缺陷检测。
• 机械工程：用于机械零件小孔内壁质量检验，提高可靠性。
• 工业机器人：可作为机器人视觉检测模块，用于自动化产线深孔检测。