氧气计量ITO/Ag/ITO透明导电膜

7 Ω/□·透光90%

通过协同优化氧化学计量和热退火,制备出同时具有低方阻和高可见光透过率的ITO/Ag/ITO多层透明导电薄膜,性能优于常规单层ITO。

Guolu, Liu · 刘宏燕 · Liu, Weiming · Zhang, Xiaofeng · 颜悦

Journal of Science: Advanced Materials and Devices 2026

参数信息

方阻
约7 Ω/
平均可见光透过率
>90 %

技术优势

300 °C空气中退火30 min

Ar/O₂比例约30/2