低电阻率纳米晶银薄膜

电阻率显著低于同类

在实现厚度调控机械强化的同时，保持了极低且稳定的电阻率，突破了传统纳米晶薄膜的导电瓶颈。

Hu, K. · Quan, Qian · Xu, Qiong · Xiaolong, Fang · 李钦 · Ma, Jie

Materials Letters 2025

参数信息

电阻率

2e-8 Ω·m

电子平均自由程

42 nm

技术优势

膜表面而非晶界主导电学性能

应用场景

• 柔性透明电极：低电阻率与可调机械强度使柔性电极在弯曲时性能稳定。
• MEMS 导电结构：纳米晶银膜在微机械结构中提供高导电性和可控硬度。
• 集成电路互连：极低电阻率减少互连延迟和发热，厚度调控满足不同层需求。
• 生物传感电极：低电阻率提升信噪比，稳定电学性能保证传感可靠性。