原子级可控刻蚀
利用沿晶向的各向异性原子去除，在金刚石衬底上高效加工微纳图形，为金刚石半导体器件制造提供关键衬底功能化手段。
Yuqing, Shi · Chen, Zhaojie · 杨浩 · 谢晋 · 许竞翔
Applied Surface Science 2024
刻蚀结构尺寸取决于碳原子以CO/CO₂分子形式逐层逃逸的速率，该速率随晶向变化，可通过选择晶面调节结构尺寸。
氧化刻蚀速率随温度升高而增大，通过控制环境温度即可调节刻蚀速率。
通过沿晶向刻蚀，金刚石衬底上的微米与纳米尺度结构可以互相转换，实现跨尺度加工。